Wafergard GTL 在线气体过滤器
可靠地去除惰性气体中的颗粒，流量高达80 slpm。
提供高效、低成本、使用点过滤惰性气体
>99.9999999% 去除所有直径大于0.0015 µm的颗粒

  

 

应用程序Wafergard GTL 在线气体过滤器 应用

低空气入口滤清器
晶圆传输系统
清洁干燥空气 (CDA)
规格
性能数据

  

 零件编号
Wafergard GTL 在线气体过滤器 部件编号
部件编号 适配尺寸和类型 长度
WGFG01DSH RC 1/4 (PT1/4 女性) 101 毫米 (4.0英寸)
WGFG01DSO 1/4" NPT (内螺纹) 101 毫米 (4.0英寸) 

ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器

ENTEGRIS WGMXMPRR2

Entegris WG2FT1RR2 过滤器

Entegris WG2FT1RR2 过滤器

Entegris WG2FT1RR2 过滤器

ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器

ENTEGRIS GPUS35FWX04R00CA 纯化器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器

ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器

ENTEGRIS WGMXMBSS4 过滤器

ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器

ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器

Entegris WGFG02PS1 过滤器

ENTEGRIS WG2F40RR3

ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器

Entegris WG3D40DR2 过滤器

Entegris WG3D40DR2 过滤器

ENTEGRIS WGMXMPRR2

ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器

ENTEGRIS LGMXFPSS3

ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器

ENTEGRIS WGFG01DS0 过滤器

ENTEGRIS SVEG01P01

ENTEGRIS SVTG01TQ1 过滤器

ENTEGRIS SVTG02TQ1

ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器

ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器

Entegris WG2FT1SS2 过滤器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器

ENTEGRIS WG3NS8RR2

ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WG3NSMSL2 气体过滤器

ENTEGRIS WG3NS8RR2

ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器

ENTEGRIS WG3NSMSL2 气体过滤器

ENTEGRIS WG3NSMSL2 气体过滤器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器