Chambergard 快速通风扩散器
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通过减少装料锁和传输室中的颗粒物和排气时间来提高效率和吞吐量。
专利的烧结镍技术在所有应用中都提供了卓越的性能
设计能够去除入口气体中大于0.0015 µm的颗粒，从而尽量减少晶圆缺陷。
提供快速排气，不扰动或增加晶圆上的颗粒，减少循环时间并提高产量
结合了扩散器的流动特性与高效过滤器，以提高效率和处理量
易于改装/安装到现有工具中，最大限度地减少停机时间
 

  

 零件编号
Chambergard 快速通风扩散器 部件编号
零件编号 O形环尺寸 O形环槽外径 出口连接类型 O形环槽内径 O形环槽深度 操作条件，最大入口压力，出口至真空中 操作条件，最大压差 操作条件，最高操作温度 入口连接类型
SI2P134R5 无 无 在线 无 无 0.5 MPa (75 psi) 0.24 MPa (35 psi) 100° C (212° F) 带O形环，400° C (752° F) 不带O形环 1/4" VCR 兼容的阳型垫片密封接头
WG3D16TR2 2-117 26.4 毫米 (1.03英寸) ISO NW-16，舱壁安装兼容标准ISO舱壁夹具 20.3 毫米 (0.79") 1.9 毫米 (0.07") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 带O形环，400° C (752° F) 不带O形环 1/4" VCR 兼容的阳型垫片密封接头
WG3D228R2 2-117 26.4 毫米 (1.03英寸) ISO NW-16，舱壁安装兼容标准ISO舱壁夹具 20.3 毫米 (0.79") 1.9 毫米 (0.07") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 带O形环，400° C (752° F) 不带O形环 1/4" VCR 兼容的公或母垫片密封接头或对焊接头
WG3D25LR2 2-123 35.9 毫米 (1.41英寸) ISO NW-25，舱壁安装兼容标准ISO舱壁夹具 29.8 毫米 (1.17英寸) 1.9 毫米 (0.07") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 带O形环，400° C (752° F) 不带O形环 1/4" VCR 兼容的阳型垫片密封接头
WG3D25SR2 2-123 35.9 毫米 (1.41英寸) ISO NW-25，舱壁安装兼容标准ISO舱壁夹具 29.8 毫米 (1.17英寸) 1.9 毫米 (0.07") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 带O形环，400° C (752° F) 不带O形环 1/4" VCR 兼容的阳型垫片密封接头
WG3D3LBW2 无 无 无 无 无 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 带O形环，400° C (752° F) 不带O形环 20 毫米对焊管端
WG3D401R2 2-246 114.3 毫米 (4.50英寸) ISO NW-100，螺栓穿透 122.4 毫米 (4.81) 2.6 毫米 (0.10") 0.25 MPa (35 psi) 0.35 MPa (50 psi) 100° C (212° F) 带O形环，400° C (752° F) 不带O形环 1/4" VCR 兼容的阳型垫片密封接头
WG3D40DR2 2-224 52.1 毫米 (2.05") ISO NW-40，舱壁安装兼容标准ISO舱壁夹具 44 毫米 (1.73") 2.6 毫米 (0.10") 0.3 MPa (45 psi) 0.4 MPa (60 psi) 100° C (212° F) 带O形环，400° C (752° F) 不带O形环 1/4" VCR 兼容的阳型垫片密封接头
WG3D40TR2 2-224 52.1 毫米 (2.05") ISO NW-40，舱壁安装兼容标准ISO舱壁夹具 44 毫米 (1.73") 2.6 毫米 (0.10") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) 带O形环，400° C (752° F) 不带O形环 1/4" VCR 兼容的阳型垫片密封接头
WG3D50DR2 2-229 67.9 毫米 (2.67英寸) ISO NW-50，舱壁安装兼容标准ISO舱壁夹具 59.9 毫米 (2.35") 2.6 毫米 (0.10") 0.2 MPa (30 psi) 0.3 MPa (45 psi) 100° C (212° F) 带O形环，400° C (752° F) 不带O形环 1/4" VCR 兼容的阳型垫片密封接头
***零件编号 WG3D401R2 包含连接器套件；P71917 螺栓和垫圈