英特格ENTEGRIS气体净化器

有各种各样的材料可以将气体净化到十亿分之一（ppt）的水平。

我们创新的气体微污染控制解决方案能够以高可靠性、低成本和高性能有效去除气体污染物。

独立的气体净化系统提供原位再生和先进的控制，以满足您的规格要求。

我们广泛的气体净化器和环保系统组合旨在提高半导体、平板显示器、氢能及其他高纯度应用中的气体一致性、使用寿命和出口纯度。

过程气体净化的重要性日益增长
净化气体
氢 (H2)输入：(8)
极限清洁干燥空气 (XCDA)输入：(7)
氮 (N2)输入：(7)
氩 (Ar)输入：(5)


GPS8 氮气净化器
高效地去除大量杂质，具有高可靠性、低成本和高性能。
净化气体：氮 (N2)


GateKeeper GPU 气体净化器
我们的GPU气体净化器能够高效地去除各种流量下的卤化气体、氢化物、活性氧化物、饱和和不饱和烃类、氟烃和氯烃。
净化气体
其他气体
氙 (Xe) 
氦 (He)
氩 (AR)

GateKeeper HGU 加热型气体净化器
我们的PS2、PS3、PS4气体净化器高效地去除H2O、O2、CO、CO2、H2、N2和THC，流量高达150 slpm（9 Nm3/hr）。
净化气体
氩 (Ar)
氢 (H2)
氮 (N2)
氦 (He)

MegaTorr PS8 氮气净化器
我们的自动再生式，PS8，N2 气体净化器高效地去除2氧气、2，一氧化碳、2，以及2在高达833,333 slpm（50,000 Nm3/hr）的流量下。
净化气体：氮 (N2)


MegaTorr PS9 氮气净化器
我们的催化剂和吸附剂，PS9，N2 批量气体净化器高效去除H2O，O2，CO，CO2，H2，和THC，流量高达200,000 slpm（12,000 Nm3/hr）。
净化气体：氮 (N2)

 
MegaTorr PS5 稀有气体净化器
我们的PS5稀有气体净化器高效去除H2O、O2、CO、CO2、H2、N2和THC，流量高达5,833 slpm（350 Nm3/hr）。
净化气体
氦 (He)
氩 (Ar)
氙 (Xe)

 
MegaTorr PS7-A 氢气净化器
我们的自动再生型，PS7-A，H2 气体净化器高效地去除2O，O2，CO，CO2，以及NMHC，流量高达16,667 slpm（1,000 Nm3/hr）。
净化气体：氢 (H2)

 
MegaTorr PS7-H 氢气净化器
我们的吸附剂和脱气剂，PS7-H，H2 气体净化器高效地去除2O，O2，CO，CO2，THC和N2，流量高达3,333 slpm（200 Nm3/hr）。
净化气体：氢 (H2)

 
MegaTorr PS7-CR 氢气净化器
我们的低温、PS7-CR、H2 气体净化器高效地去除H2O、O2、CO、CO2、THC和N2，流量高达16,667 slpm（1,000 Nm3/hr）。
净化气体：氢 (H2)

 
MegaTorr PS6 氧气气体净化器
我们的催化剂和吸附剂，PS6，O2 批量气体净化器高效去除H2O，CO，CO2，H2，和THC，流量高达16,667 slpm（1,000 Nm3/hr）。

净化气体：氧气 (O2)

MegaTorr PS22 XCDA 气体净化器
我们的自动再生式，PS22，XCDA 净化器在高达250,000 slpm（15,000 Nm3/hr）的流量下高效去除H2O、有机物、顽火辉石、酸和碱。
净化气体：极限清洁干燥空气 (XCDA)


MegaTorr PS31, PS32, PS33 二氧化碳气体净化器
我们的PS31、PS32、PS332 气体净化器高效地去除2氧气、有机物、耐火化合物、酸和碱，流量高达8,333 slpm（500 Nm3/hr）。
净化气体：二氧化碳 (CO2)


MegaTorr PS21 氨气净化器
我们的自动再生型，PS21，NH3 气体净化器高效地去除2O，O2，CO，CO2，以及有机物，流量高达1,667 slpm（100 Nm3/hr）。
净化气体：氨 (NH3)


GateKeeper HGU 加热型催化剂 XCDA，氧气气体净化器
我们的PS15 HGU加热催化剂气体净化器高效地去除CO、CO2和THC，流量高达100 slpm（6 Nm3/hr）。
净化气体：极限清洁干燥空气 (XCDA)、氧气 (O2)


Chacollet 在线烃类净化器
在Entegris找到Chacollet在线烃类净化器。自1966年以来，领先的气体净化器和气体净化系统。Entegris。创造材料优势。
净化气体
氩 (Ar)
氮 (N2)
氦 (He)
极限清洁干燥空气 (XCDA


Luminousgard 气体净化器
在Entegris找到GateKeeper Luminousgard 气体净化器。自1966年以来，行业领先的气体净化器和气体净化系统。Entegris。创造材料优势。
净化气体
氦 (He)
氮 (N2)
极限清洁干燥空气 (XCDA
氩 (Ar)


GateKeeper GPU 臭氧气体净化器
我们的GPU臭氧（O3）气体净化器高效地减少了铬（Cr）和锰（Mn）等固体和挥发性金属从O3气体中。
净化气体：臭氧 (O3)


GateKeeper Z3系列气体净化系统
GateKeeper 气体净化系统 (GPS) Z3 系列，用于连续高流量、使用点净化的XCDA (极限清洁干燥空气) 吸气气体，具有低成本的拥有权
净化气体：极限清洁干燥空气 (XCDA


GateKeeper EX系列气体净化系统
GateKeeper气体净化系统 (GPS) EX系列，用于连续高流量、现场使用的纯化氢气 (H2) 洗气，拥有低成本的拥有权
净化气体：氢 (H2)


GateKeeper HX系列气体净化系统
GateKeeper HX系列 - 纯化气体：氢气 (H2)、氮气 (N2) 或氩气 (Ar)。连续流动，现场纯化氢气、氮气或氩气，具有较低的拥有成本。
净化气体
氩 (Ar)
氢 (H2)
氧气 (O2)


GateKeeper DX系列气体净化系统
GateKeeper气体净化系统（GPS）DX系列是Entegris公司最先进的连续服务气体净化系统，为气体净化带来了先进技术。它为半导体制造商提供了创新的解决方案，以实现更高的晶圆产量和更低的拥有成本。
净化气体：二氧化碳 (CO2)


GateKeeper DZ系列气体净化系统
持续的高流量、现场使用、低成本的净化二氧化碳气体
净化气体：二氧化碳 (CO2)


GateKeeper SX系列气体净化系统
GateKeeper 气体净化系统 (GPS) SX 系列用于连续流动，低成本拥有在使用点净化的 NH3 气体
净化气体：氨 (NH3)

添加到比较
GateKeeper Z2系列气体净化系统
GateKeeper Z2系列气体净化系统(GPS)，用于连续高流量、低成本拥有权的现场使用XCDA(极限清洁干燥空气)吹扫气体。
净化气体：极限清洁干燥空气 (XCDA


氢2PS 去氧干燥机 - 零损失气体净化器
使通过电解槽产生的氢气实现亚百万分之一的纯度水平。
净化气体：氢 (H2)

  

GateKeeper GPU 气体净化器
GateKeeper GPU系列净化器旨在提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度。
纯度至 ppt 水平
广泛的气体兼容性，包括腐蚀性气体如Cl2、HBr、HCl、CF4、SO2、SF6
净化器压降低
CE认证符合压力设备指令PED，并在ISO 9001-2000设施中制造
可再生 – 消除处理问题和成本
长寿命 - 改进的拥有成本
使用环境温度净化 

  

 应用程序
GateKeeper GPU 气体净化器 应用
批量气体交付
光刻术
外延生长
干法刻蚀
晶圆生长

沉积 

英特格ENTEGRIS气体纯化器现货，

GPUS300NCX04R02CA，30个

GPUS5000FHX08R00CA，30个

GPUS35FWX04R00CA，1个

GPUS2500NCX08R00CA，2个

GPUS700FYX04R02CA，现货11台

GPU 15 0.5 slpm 0.3 slpm 2,000 psig 250 psig – 0.1 psid

GPU 35 1 slpm 1.0 slpm 1,400 psig 250 psig – 0.3 psid

GPU 70 5 slpm 1.6 slpm 1,400 psig 250 psig – 0.5 psid

GPU 80 10 slpm 1.9 slpm 1,400 psig 250 psig – 1.0 psid

GPU 100 20 slpm 2.6 slpm 1,000 psig 250 psig – 16.7 psid

GPU 200 20 slpm 4.2 slpm 800 psig 250 psig – 0.7 psid

GPU 300 50 slpm 6.3 slpm 800 psig 250 psig – 1.3 psid

GPU 500 75 slpm 13.0 slpm 600 psig 250 psig – 1.3 psid

GPU 700 120 slpm 18.0 slpm 600 psig 250 psig – 1.8 psid

GPU 2500 4R 300 slpm 65.0 slpm 505 psig 250 psig – 5.0 psid

GPU 2500 8R 500 slpm 65.0 slpm 505 psig 250 psig – 5.6 psid

GPU 3000 500 slpm 75.0 slpm 505 psig 250 psig – 5.6 psid

GPU 5000 500 slpm 125.0 slpm 505 psig 250 psig – 7.0 psid

GPU 10M 8R 1,000 slpm 260.0 slpm 370 psig 250 psig – 5.8 psid

GPU 10M 12R 1,000 slpm 260.0 slpm 370 psig 250 psig – 8.0 psid

GPU 13M 12R 2,000 slpm 320.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid –

GPU 13M 16R 2,500 slpm 320.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid –

GPU 17M 12R 2,000 slpm 400.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid –

GPU 17M 16R 2,500 slpm 400.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid –

GPU 20M 12R 2,000 slpm 480.0 slpm 370 psig 250 psig – 19.0 psid

GPU 20M 16R 2,500 slpm 480.0 slpm 370 psig 250 psig – 19.0 psid

*Purifier only at maximum flow rating with 90 psig inlet pressure

FACILITY SPECIFICATIONS

GPU 15 1/4" Male/male 25.4 mm (1.0") 84 mm (3.3") 0.2 kg (0.4 lbs)

GPU 35 1/4" Male/male 38.1 mm (1.5") 84 mm (3.3") 0.3 kg (0.7 lbs)

GPU 70 1/4" Male/male 38.1 mm (1.5") 114 mm (4.5") 0.3 kg (0.7 lbs)

GPU 80 1/4" Male/male 38.1 mm (1.5") 127 mm (5.0") 0.3 kg (0.7 lbs)

GPU 100 1/4” Male/male N/A 84 mm (3.3") 0.9 kg (2.0 lbs)

GPU 200 1/4" Male/male 50.8 mm (2.0") 157 mm (6.2") 0.9 kg (2.0 lbs)

GPU 300 1/4" Male/male 50.8 mm (2.0") 208 mm (8.2") 1.1 kg (2.5 lbs)

GPU 500 1/4" Male/male 76.2 mm (3.0") 201 mm (7.9") 1.8 kg (4.0 lbs)

GPU 700 1/4" Male/male 76.2 mm (3.0") 254 mm (10.0") 2.5 kg (5.5 lbs)

GPU 2500 4R 1/4" Male/male 101.6 mm (4.0") 439 mm (17.3") 6.8 kg (15 lbs)

GPU 2500 8R 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 445 mm (17.5") 6.8 kg (15 lbs)

GPU 3000 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 508 mm (20.0") 7.3 kg (16 lbs)

GPU 5000 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 785 mm (30.9") 10.0 kg (22 lbs)

GPU 10M 8R 1/2" Male/male 152.4 mm (6.0") 737 mm (29.0") 20 kg (44 lbs)

GPU 10M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 749 mm (29.5") 21.8 kg (48 lbs)

GPU 13M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 892 mm (35.1") 24.9 kg (55 lbs)

GPU 13M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 899 mm (35.4") 24.9 kg (55 lbs)

GPU 17M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 1085 mm (42.7") 29.5 kg (65 lbs)

GPU 17M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 1090 mm (42.9") 29.5 kg (65 lbs)

GPU 20M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 1290 mm (50.8") 34 kg (75 lbs)

GPU 20M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 1296 mm (51.0") 34 kg (75 lbs)

GPU 15 1/4" Female/female 25.4 mm (1.0") 234 mm (9.2") 1.1 kg (2.4 lbs)

GPU 35 1/4" Female/female 38.1 mm (1.5") 234 mm (9.2") 1.2 kg (2.6 lbs)

GPU 70 1/4" Female/female 38.1 mm (1.5") 264 mm (10.4") 1.3 kg (2.9 lbs)

GPU 80 1/4" Female/female 38.1 mm (1.5") 277 mm (10.9") 1.3 kg (2.9 lbs)

GPU 100 1/4” Female/female N/A 234 mm (9.2") 1.3 kg (2.9 lbs)

GPU 200 1/4" Female/female 50.8 mm (2.0") 307 mm (12.1") 1.7 kg (3.7 lbs)

GPU 300 1/4" Female/female 50.8 mm (2.0") 358 mm (14.1") 1.8 kg (3.8 lbs)

GPU 300 (GC 300) 1/4" Female/male 83.8 mm (3.3") 401.3 mm (15.8") 2.3 kg (5.1 lbs)

GPU 500 1/4" Female/female 76.2 mm (3.0") 351 mm (13.8") 2.7 kg (6.0 lbs)

GPU 700 1/4" Female/female 76.2 mm (3.0") 404 mm (15.9") 4.4 kg (9.6 lbs)

GPU 2500 4R 1/4" Female/female 101.6 mm (4.0") 592 mm (23.3") 6.8 kg (15 lbs)

GPU 2500 8R 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 714 mm (28.1") 8.0 kg (17.7 lbs)

GPU 3000 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 777 mm (30.6") 8.5 kg (18.7 lbs)

GPU 5000 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 1054 mm (41.5") 12.5 kg (27.6 lbs)

GPU 10M 8R 1/2" Female/male 152.4 mm (6.0") 970 mm (38.2") 22.5 kg (49.6 lbs)

GPU 10M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1125 mm (44.3") 24.9 kg (55.0 lbs)

GPU 13M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1270 mm (50.0") 28.1 kg (62.0 lbs)

GPU 13M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1308 mm (51.5") 29.5 kg (65.0 lbs)

GPU 17M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1461 mm (57.5") 32.7 kg (72.0 lbs)

GPU 17M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1499 mm (59.0") 34.0 kg (75.0 lbs)

GPU 20M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1666 mm (65.6") 37.2 kg (82.0 lbs)

GPU 20M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1705 mm (67.1") 38.6 kg (85.0 lbs)