GateKeeper GPU 气体净化器
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GateKeeper GPU系列净化器旨在提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度。
纯度至 ppt 水平
广泛的气体兼容性，包括腐蚀性气体如Cl2、HBr、HCl、CF4、SO2、SF6
净化器压降低
CE认证符合压力设备指令PED，并在ISO 9001-2000设施中制造
可再生 – 消除处理问题和成本
长寿命 - 改进的拥有成本
使用环境温度净化 
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应用程序
参考资料
应用程序GateKeeper GPU 气体净化器 应用
批量气体交付
光刻术
外延生长
干法刻蚀
晶圆生长
沉积
参考资料产品文档
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