GateKeeper GPU Gas Purifiers
GateKeeper GPU series of purifiers were designed to improve process gas consistency, lifetime and outlet purity.

Purity to ppt levels
Wide range of gas compatibility, including corrosive gases such as Cl2, HBr, HCl, CF4, SO2, SF6
Low pressure drop across the purifier
CE certified to the pressure equipment directive PED and manufactured in an ISO 9001-2000 facility
Regenerable – eliminates disposal issues and costs
Long lifetime – improved cost of ownership
Use ambient temperature purification 
APPLICATIONS
GateKeeper GPU Gas Purifiers Applications
Bulk gas delivery
Photolithography
Epitaxy
Dry etch
Wafer growing
Deposition
REFERENCE MATERIALS

MICROCONTAMINATION CONTROL
GateKeeper
 GPU
TX Media Gas Purifiers
Superior purity control
Entegris’ GateKeeper GPU gas purifiers were designed
to improve purity consistency, lifetime, and final purity in
microelectronics applications where high-purity gas is critical.
Leveraging our expertise in material science, we have developed
a new generation of TX gas purification products that deliver
unsurpassed value and performance.
APPLICATIONS
—
• Semiconductor
• Data storage
• Flat panel display
• LED
• Solar
FEATURES & BENEFITS
—
Process control and protection Purity control below part-per-billion (ppb) levels
Low pressure drop through the purifier
CE certified to the Pressure Equipment Directive (PED)
Manufactured in an ISO 9001:2015 facility
Cost effective Regenerable – eliminates disposal issues and costs
Long lifetime — improves cost of ownership
Safe and simple to use Uses ambient temperature purification — no heat or power
required to operate
Insensitive to orientation (horizontal / vertical)