清洁、高效的镍过滤器可提供卓越的颗粒过滤效果，并与惰性气体和反应性气体具有出色的兼容性。
最先进的外壳组件通过最小化焊接面积消除了排气
全金属结构非常适合高温和动态压力应用
紧凑的尺寸和灵活的配件选择可提供终极的设计效率并最大限度地降低工程成本
应用领域
Wafergard
III NF Mini/Mini XL 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温和动压应用
惰性和反应性气体
煤气柜和面板
阀组箱
挂钩
注意：不建议与 CO、O 3和低浓度氢化物掺杂气体一起使用
| 材料 | 过滤膜 | 镍 |
| 外壳、端盖 | 低硫316L不锈钢 |
| 初始下游清洁度 | ≤0.03 颗粒/升（≤1 颗粒/ft 3） ≥0.01 μm |
| 去除等级 | ≥0.0015微米 |
| 颗粒保留 | 在 60 slm（迷你）和 120 slm（迷你 XL）条件下，所有颗粒的去除率超过 99.9999999% (9 LRV)：以最具穿透力的颗粒尺寸为参考 |
| 内部表面处理 | ≤ 5 μin Ra |
| 氦气泄漏等级 | 已测试 | 9 × 10 -10 Pa m 3 /秒（9 × 10 -9 atm cc/秒） |
| 最高条件 | 最大工作压力： | 20°C (68°F) 时为 16.2 MPa（162 巴，2346 psid） |
| 最大正向/反向压差： | 3.3 MPa（33 巴，485 psid）@RT |
| 最高设计温度： | 惰性气体：400°C (725°F) |
|
| 流量等级 | 参考性能数据 |
Wafergard® III NF Mini/Mini XL 在线气体过滤器零件号
| 零件编号 | 配件尺寸和类型 | 长度 |
|---|
| WG3NS1RR2 | 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 | 84.1 毫米（3.31 英寸） |
| WG3NS2RR2 | 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 | 127.0 毫米（5.00 英寸） |
| WG3NS2RR4 | 1/2" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 | 133.3 毫米（5.25 英寸） |
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ENTEGRIS过滤器WGPM0GGG2
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS 过滤器 WG3NS2RR4
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT4
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS 过滤器 WGFGT1PR1
Entegris 过滤器 WG2FT1RR2
ENTEGRIS 过滤器 WGPM0GGG2
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS WGMXMPRR2
Entegris 过滤器 WG3D40DR2
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS 过滤器 WG3NSMSL2
ENTEGRIS 过滤器 WGFGT1PR1
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS 过滤器 WGMXMSRR4
ENTEGRIS 过滤器 WGPMOGGT2
ENTEGRIS 过滤器 WGFGMBRR4
ENTEGRIS 过滤器 WGMXMSRR4
ENTEGRIS 过滤器 WGMXMBSS2
Entegris 过滤器 WGFG21KP0
Entegris 过滤器 WG3NS6RR2
ENTEGRIS 过滤器 CBUG0S0S1
ENTEGRIS 过滤器 WGPM0GGT4
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS 滤芯 WGFG01DS0
entegris 滤芯 CTFG01TPE
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS 过滤器 WGPM0GGT2
Entegris 过滤器 WG2FT1RR2
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Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS 过滤器 WGFGMBRR4
Entegris 过滤器 WG3D40DR2
ENTEGRIS 过滤器 WG3NS8RR2
ENTEGRIS 过滤器 WG2F02RR2
ENTEGRIS LGMXFPSS3
Entegris 过滤器 WG2FT1SS2
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ENTEGRIS过滤器WGPMOGGT2
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