日本 ‌KITZ SCT‌（原 KITZ 半导体流体部门，现独立或作为 KITZ 旗下品牌）生产的一款 ‌气动隔膜阀‌（Diaphragm Valve）。

该型号属于高纯气体/液体输送系统中常用的超洁净阀门，广泛应用于半导体、光伏、LED 等制造领域。以下是该型号各代码的含义及主要特性：

1. 型号解析

‌VLD‌: 代表 ‌V‌alve, ‌L‌ow pressure (低压), ‌D‌iaphragm (隔膜阀) 系列。这是 KITZ SCT 的标准微型隔膜阀系列。

‌4‌: 代表公称通径为 ‌1/4英寸‌ (NPS 1/4")。

‌C‌: 通常代表连接方式或阀体结构细节，在此类型号中常指 ‌Swagelok 兼容‌ 的卡套连接端（Tube End），具体需结合后缀确认，但 VLD 系列多为两端带卡套接头。

‌B‌: 代表驱动方式为 ‌Pneumatic Actuator‌（气动执行器）。如果是手动则为 M (Manual)。

‌VFC‌: 代表阀体材质与内部处理。‌VF‌ 通常指阀体材料为 ‌316L 不锈钢‌，‌C‌ 可能涉及特定的表面处理或密封件配置（如 EPDM 或 FKM，需查具体数据表，但 EP-316L 已明确材质）。

‌A‌: 可能代表执行器的动作形式（如 Air-to-Open 气开式 或 Air-to-Close 气闭式）或特定的附件代码。

‌EP‌: 代表 ‌Electropolished‌（电解抛光），表明流道表面经过高精度电解抛光处理，以降低颗粒产生和吸附，满足超高纯要求。

‌316L‌: 阀体及接触介质部件材质均为 ‌316L 不锈钢‌。

2. 主要技术参数（参考同类 VLD 系列）

‌品牌‌: KITZ SCT / KITZ

‌类型‌: 气动隔膜阀

‌通径‌: 1/4" (DN6)

‌材质‌: SS316L (电解抛光)

‌驱动‌: 气动双作用或单作用（取决于具体 A/B 代码定义，通常为弹簧复位或双作用气缸）

‌适用介质‌: 高纯气体（如 N2, Ar, O2, Cl2 等）、高纯液体、腐蚀性化学品

‌泄漏等级‌: 极低泄漏，符合 SEMI 标准

‌工作温度‌: 通常 -10°C 至 +80°C（取决于隔膜片材质，如 EPDM 或 FKM）

‌工作压力‌: 低压设计，通常真空至 1.0 MPa (约 145 psi) 或更高，具体视隔膜厚度而定

3. 应用场景

半导体晶圆厂的气体分配系统 (Gas Box)

光伏电池生产线

LED 外延片生长设备

实验室高纯流体控制系统

4. 注意事项

‌确认动作形式‌: "A" 代码在不同批次或定制中可能含义不同，建议核对是 ‌常开 (NO)‌ 还是 ‌常闭 (NC)‌，以及气源失效时的状态。

‌隔膜片材质‌: 虽然阀体是 316L，但核心的隔膜片（Diaphragm）材质可能是 ‌EPDM‌（三元乙丙橡胶）或 ‌FKM/Viton‌（氟橡胶），

这决定了耐化学性和温度范围。EP-316L 中的 EP 有时也暗示使用 EPDM 隔膜，但需以官方 datasheet 为准。

‌连接尺寸‌: 确认卡套接头适配的管外径（OD），1/4" 阀通常适配 6.35mm OD 的不锈钢管。

KITZ10K-1/4”VLD EP 316L阀门VLD4MS-VC-EP-316L

KITZ VRD4MSI-VC-EP-316L 高压手动隔膜阀

KITZ10K-1/4”VLD EP 316L阀门VLD4MS-VC-EP-316L

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