Wafergard III NF-100 在线气体过滤器
这些镍膜过滤器是可用于超纯气体系统过滤的最清洁、最高效的全金属过滤器。

镍膜在惰性和反应性气体应用中具有出色的耐腐蚀性和出色的兼容性，流量高达 100 slpm
干净的全金属结构非常适合高温和动态压力应用 
提供出色的化学相容性，可与多种化学品一起使用
最先进的外壳组件消除了除气，减少了干燥时间，并且不会造成污染
应用
Wafergard III NF-100 在线气体过滤器应用
超纯惰性和反应气体管线
高温应用
动压应用
新工厂建设
产品规格
材料 滤芯 获得专利的烧结镍膜
  住房 电抛光 316L 半 F20 不锈钢
下游清洁度 粒子* <0.03 颗粒/升 (<1 颗粒/ft 3 )
标准下游清洁度 <0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) >0.01 µm 在特定流量下
移除等级 ≥0.0015 µm  
氦泄漏等级 合格的 2 x 10 -10 atm cc/秒
  经过测试 1 x 10 -9 atm cc/秒
运行条件 最大入口压力 50 巴（725 磅/平方英寸）
  最大正向/反向压差 5.2 巴（75 磅/平方英寸）
  最高工作温度： 插入气体：400°C (725°F)
    腐蚀性和反应性气体：50°C (1220°F)
保修单 5年  
颗粒保留 以 100 slpm 去除所有颗粒大于 99.9999999% (9 LRV)
*颗粒清洁度符合 SEMASPEC 颗粒脱落测试方法 (#93021511A-STD)。

参考资料
零件号
Wafergard III NF-100 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGL100NS3R2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）
不建议将镍过滤器用于 CO 2、O 3和低含量氢化物掺杂剂气体。