英特格ENTEGRIS，Wafergard® III NF-100 在线气体过滤器，WGL100NH3R2，WGL100NS3R2

英特格ENTEGRIS，Wafergard® III NF-100 在线气体过滤器，WGL100NH3R2，WGL100NS3R2

英特格ENTEGRIS，Wafergard® III NF-100 在线气体过滤器，WGL100NH3R2，WGL100NS3R2

 Wafergard III NF-100 在线气体过滤器
全金属过滤器在流量高达 100 slpm 的惰性和反应气体应用中具有卓越的耐腐蚀性和出色的兼容性
配件尺寸
1/4"
配件类型
垫片密封
长度
84.1 毫米（3.31 英寸）
最大工作压力
50 巴（725 磅/平方英寸表压）
相关产品类别
其他气体过滤器
Wafergard GN 气体过滤枪是一种易于使用的轻型 POU（使用点）解决方案，用于控制气体污染。该过滤器元件采用 Entegris 独家设计，用于各种半导体工艺。

在线 PTFE 气体过滤器
我们的气体过滤器提供卓越的颗粒过滤功能，最大限度地减少压降并最大限度地延长过滤器的使用寿命。从 Wafergard 和 Linegard 在线气体过滤器中进行选择。

在线不锈钢气体过滤器
Entegris 的在线不锈钢气体过滤器设计用于高压和高温应用。它们易于安装，无需更改设计。

表面贴装气体过滤器
Wafergard 气体过滤器配有不锈钢或镍过滤元件， 可提供终极的过程保护、卓越的耐腐蚀性以及与惰性气体、氢化物和活性气体的出色兼容性。表面安装设计减少了燃气面板上的空间，并减少了零件库存和变化。我们的表面安装气体过滤器产品组合包括 C-Seal 1.125" 和 W-Seal 1.125" 或 1.5" 格式。

在线 All-22 气体过滤器
Wafergard  IV 合金-22（通常称为 HASTELLOY  C-22 合金）过滤器是适用于腐蚀性和超纯环境的最清洁、最高效的全金属过滤器。

排气过滤器
我们的气体过滤器提供卓越的颗粒过滤能力，可有效控制各种生命科学、微电子、食品和饮料以及其他应用中的污染。

大宗气体过滤器和外壳
与多种大宗气体兼容，包括 CDA N2、Ar、O2、H2 和 He。每个解决方案都是根据流量、供应压力和输入供应纯度而设计的。
Wafergard III NF-100 在线气体过滤器
幻灯片详细信息。
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这些镍膜过滤器是可用于超纯气体系统过滤的最清洁、最高效的全金属过滤器。
镍膜在流量高达 100 slpm 的惰性和反应气体应用中具有卓越的耐腐蚀性和出色的兼容性
清洁的全金属结构非常适合高温和动态压力应用 
提供优异的化学兼容性，可与多种化学品一起使用
最先进的外壳组件可消除排气，减少干燥时间，并且不会造成污染

  

 应用领域
Wafergard III NF-100 在线气体过滤器应用
超纯惰性气体和反应气体管线
高温应用
动压应用
新晶圆厂建设
产品规格
材料 滤芯 获得专利的烧结镍膜
住房

  提供两种外壳选项
1. 电解抛光 316L 半 F20 不锈钢 (NS)
2. A22 (NH)
下游清洁度 颗粒* <0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3）
标准下游清洁度 <0.03 颗粒/升 (<1 颗粒/ft 3 ) >0.01 µm 在指定流量下
去除等级 ≥0.0015微米
氦气泄漏等级 合格的 2 x 10 -10 atm cc/秒
已测试 1 x 10 -9 atm cc/秒
使用条件 最大入口压力 50 巴（725 磅/平方英寸表压）
最大正向/反向压差 5.2 巴（75 磅/平方英寸）
最高工作温度： 插入气体： 400°C（725°F）
腐蚀性和反应性气体： 取决于气体类型和条件**
颗粒保留 在 100 slpm 速度下，所有颗粒去除率超过 99.9999999% (9 LRV)
*颗粒清洁度符合 SEMASPEC 颗粒脱落测试方法 (#93021511A-STD)。
**请联系您的 Entegris 客户经理了解具体详情。
零件编号
Wafergard III NF-100 在线气体过滤器零件号
零件编号 配件尺寸和类型 长度 外壳类型
WGL100NH3R2 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） A22
WGL100NS3R2 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 电解抛光 316 L 半 F20 不锈钢
  

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