品牌： ENTEGRIS
售价: ￥5000
Wafergard® SG 气体过滤器零件编号
| 部件编号 | 产品类型 | 最大流量 | 配件尺寸与类型 | 长度 |
|---|---|---|---|---|
| WGFG02PR1 | Wafergard® SG F Mini XL 气体滤清器 | 120 SLPM | 1/4英寸垫圈密封（兼容录像机®） | 127毫米（5.00英寸） |
| WGFG02PS1 | Wafergard® SG F Mini XL 气体滤清器 | 120 SLPM | 1/4英寸压缩密封圈（Swagelok®兼容） | 115.5毫米（4.55英寸） |
| WGFG32PR1 | Wafergard® SG F Mini XL 气体滤清器 | 120 SLPM | 1/2英寸密封圈（兼容录像机®） | 133.5毫米（5.26英寸） |
| WGFG32PS1 | Wafergard® SG F Mini XL 气体滤清器 | 120 SLPM | 3/8英寸压缩密封（兼容Swagelok®） | 119.3毫米（4.70英寸） |
| WGFG50PR1 | Wafergard® SG F Mini XL 气体滤清器 | 120 SLPM | 1/2英寸密封圈（兼容录像机®） | 127毫米（5.00英寸） |
| WGFGMBPRF2 | Wafergard® SG Max 气体过滤器 | 500 SLPM | 1/4英寸垫圈密封（兼容录像机接头）公头进气口/母头出口 | 141.2毫米（5.6英寸） |
| WGFGMBRR2 | Wafergard® SG Max 气体过滤器 | 500 SLPM | 1/4英寸垫圈密封（兼容录像机®） | 127毫米（5.00英寸） |
| WGFGMBRR4 | Wafergard® SG Max 气体过滤器 | 1000 SLPM | 1/2英寸密封圈（兼容录像机®） | 127毫米（5.00英寸） |
| WGFGMBSS2 | Wafergard® SG Max 气体过滤器 | 500 SLPM | 1/4英寸压缩密封圈（Swagelok®兼容） | 112.7毫米（4.44英寸） |
| WGFGMBSS3 | Wafergard® SG Max 气体过滤器 | 1000 SLPM | 3/8英寸压缩密封（兼容Swagelok®） | 117.9毫米（4.64英寸） |
| WGFGMBSS4 | Wafergard® SG Max 气体过滤器 | 1000 SLPM | 1/2英寸压缩密封条（兼容Swagelok®） | 118.7毫米（4.67英寸） |
| WGFGT1PR1 | Wafergard® SG F 微型气体过滤器 | 60 SLPM | 1/4英寸垫圈密封（兼容录像机®） | 84.1毫米（3.31英寸） |
| WGFGT1PS1 | Wafergard® SG F 微型气体过滤器 | 60 SLPM | 1/4英寸压缩密封圈（Swagelok®兼容） | 73.7毫米（2.90英寸） |
| YY5001HR1 | Wafergard® SG PA 气体过滤器 | 60 SLPM | 1/4英寸垫圈密封（兼容录像机®） | 84.1毫米（3.31英寸） |
| YY5001HS1 | Wafergard® SG PA 气体过滤器 | 60 SLPM | 1/4英寸压缩密封圈（Swagelok®兼容） | 73.7毫米（2.90英寸） |
| YY5002PR1 | Wafergard® SG PAL气体过滤器 | 120 SLPM | 1/4英寸垫圈密封（兼容录像机®） | 127.0毫米（5.00英寸） |
| YY5002PS1 | Wafergard® SG PAL气体过滤器 | 120 SLPM | 1/4英寸压缩密封圈（Swagelok®兼容） | 115.5毫米（4.55英寸） |
| YY5032PR1 | Wafergard® SG PAL气体过滤器 | 200 SLPM | 3/8英寸垫圈密封（兼容录像机®） | 133.5毫米（5.26英寸） |
| YY5032PS1 | Wafergard® SG PAL气体过滤器 | 200 SLPM | 3/8英寸压缩密封（兼容Swagelok®） | 119.3毫米（4.70英寸） |
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