赛纳里克斯 卫星里克斯Sensorix公司的Satellix系列是用于卫星XT发射器的即插即用传感器。
Satellix传感器由Sensorix团队设计，用于可靠地检测半导体行业中使用的有毒、腐蚀性和可燃性气体。

Satellix传感器系列有什么特别之处？
高度定制的机械传感器适应
具有EC气体传感器和用于LEL监测的热导池。
与卫星XT发射机兼容
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检测半导体制造过程中使用的30多种气体
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关于Satellix格式的关键信息

Sensorix根据列出的气体类型，在三个产品维度上提供Satellix传感器。电化学传感器：Satellix Standard 适用于大多数气体，Satellix 4S 适用于 SO2、NO、NO2、O2，以及pellistor传感器：Satellix LEL。
所有这些Satellix传感器格式都有专用的插座和预编程的EPROM。因此，Satellite XT设备的用户可以拥有即插即用的传感器解决方案。
通过Satellix，Sensorix提供了一系列用于检测氢化气体的传感器，如AsH3、PH3、SiH4、B2H6和SeH2，以及用于检测HF、HCl、HBr、Cl2、NH3和H2的传感器，例如，这些气体在半导体制造过程中常用。
以下目标气体可以用Satellix传感器检测Sensorix公司的卫星传感器专为可靠检测半导体制造中使用的三十多种气体而开发。
请选择以下列表中的目标气体，以了解可用的传感器类型。
阿什3
砷化氢溴2
溴硼氢化六烷
二硼烷CH3F
氟甲烷氯气
氯ClF3
氯三氟化物氯气
氯 dioxide一氧化碳
一氧化碳氯化亚铜
氯气C4F6
六氟丁二烯C5F8
八氟环戊烯输入：F2
氟四氢铝
相关的HBr
溴化氢盐酸
盐酸氰化氢
氰化氢高频
氟化氢HMDS
六甲基二硅氮烷H2
氢硫化氢
硫化氢NF3
三氟化氮NH3
氨气二氨
联氨
（根据要求）NO
一氧化氮NO2
二氧化氮O2
氧气臭氧
臭氧磷化氢
磷化氢赛赫2
硒化氢SF6
六氟化硫硅烷
硅烷SO2
二氧化硫泰奥司
四乙基硅酸酯TMB
三甲基硼酸酯1,2-反式 DCE
1,2 反式 二氯乙烯LEL
爆炸下限